CMP浆料

特点

. 金属离子含量极低 单分散体系，粒径分布均匀 

.产品各批次间品质一致性高 

.可自由控制粒子大小及形貌 

.分散稳定，不易凝聚、沉降 

.速率高，无结晶，易清先 

.表面质基好，周环能力强

选型品 

.蓝宝石:SPS 不锈钢:SLPS 
.铝台金:AAPS 
.硅片:SSPS 
.砷化镓:GAPS 
.硬盘:DPS 

.人工体:ALPS 
.陶瓷:CPS