大粒径硅溶胶胶粒具有庞大的比表面积(表面多介孔结构)和 的吸附能力以及较强的稳定性和粘结性能，在化学机械抛光中可以形成坚固的膜，不容易发生龟裂，同时硅溶胶胶粒粒径越大，硅溶胶附着在固体表面时的摩擦系数越大，从而改善了材料表面的耐磨性。且要求硅溶胶中无有机物，同时颗粒分散均匀，浓度要高，这是抛光硅溶胶的关键所在。